发明名称 |
平坦式吸嘴与芯片取放机及其半导体测试方法 |
摘要 |
本发明是有关一种平坦式吸嘴与芯片取放机及其半导体测试方法。该平坦式吸嘴,设于芯片取放机,用以取放半导体芯片,半导体芯片具有复数导电凸块,平坦式吸嘴包含一吸嘴本体,具有至少一气体通道及接触部,且气体通道在接触部具有一开口,用以吸附半导体芯片,且接触部可横跨芯片上复数导电凸块。该芯片取放机,其包含:一机器手臂;及至少一平坦式吸嘴,套设于机器手臂以取放半导体芯片,该半导体芯片具有复数的导电凸块。该半导体测试方法,其包含:藉平坦式吸嘴吸取一半导体芯片;及将半导体芯片放置于匣盘。本发明不但可以避免刮伤芯片凸块,芯片设计也不会因取放受限而浪费有限芯片面积,可广泛应用于各种芯片及各种半导体封测方法,可减少取放时芯片表面刮伤。 |
申请公布号 |
CN101471276B |
申请公布日期 |
2011.04.20 |
申请号 |
CN200710306122.3 |
申请日期 |
2007.12.28 |
申请人 |
京元电子股份有限公司 |
发明人 |
江丙荣 |
分类号 |
H01L21/683(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
代理机构 |
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 |
代理人 |
寿宁;张华辉 |
主权项 |
一种平坦式吸嘴,用以取放一半导体芯片,该半导体芯片具有复数的导电凸块,其特征在于该平坦式吸嘴包含:一吸嘴本体,该吸嘴本体具有至少一气体通道及一接触部,该气体通道在该接触部具有一开口,用以吸附该半导体芯片,且该接触部可横跨该芯片上的该复数的导电凸块。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |