Encore Ta装置部件清洗再生保护治具及相关清洗再生方法

摘要

本发明涉及一种Encore Ta装置部件清洗再生保护治具，其是用于覆盖住Encore Ta装置的内屏蔽体(Inner shield)的cup装配区域的覆盖物，还提供了一种Encore Ta装置部件清洗再生保护治具，其是用于覆盖住Encore Ta装置的沉积支撑环部件的工作面内圈非溶射区域的覆盖物，还提供了一种Encore Ta装置部件清洗再生保护治具，其是用于覆盖住Encore Ta装置的沉积支撑环部件的底部的覆盖物，还提供了一种Encore Ta装置部件清洗再生保护治具，其是用于覆盖住Encore Ta装置的沉积支撑环部件的工作面溶射区域的覆盖物，还提供了相关的清洗再生方法，本发明设计独特巧妙，从而能够减少部件在清洗再生过程中产生的腐蚀，增加部件的使用寿命，增加部件表面film吸附能力，解决产生film脱落问题，开拓新的清洗市场，适于大规模推广应用。

主权项

一种Encore Ta装置部件清洗再生保护治具，其特征在于，所述Encore Ta装置部件清洗再生保护治具是用于覆盖住所述Encore Ta装置的内屏蔽体的cup装配区域的覆盖物。