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发明名称 METHOD FOR MAKING A STRUCTURE COMPRISING A STEP FOR IMPLANTING IONS IN ORDER TO STABILIZE THE ADHESIVE BONDING INTERFACE
摘要
申请公布号 EP2311082(A1) 申请公布日期 2011.04.20
申请号 EP20090804531 申请日期 2009.07.03
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 BOURDELLE, KONSTANTIN;LANDRU, DIDIER;LANDRY, KARINE
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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