一种可提高测试效率的应力迁移测试方法

摘要

本发明提供了一种可提高测试效率的应力迁移测试方法，用于测试具有四个测试点的应力测试单元的应力迁移。现有技术仅通过电流自适应测试法来测试应力测试单元的电阻，虽测试精准度很高但效率非常低下。本发明将电流自适应测试法和电流恒定测试法结合起来，先通过电流自适应测试法测得该应力测试单元的初始电阻值，并记录测得该初始电阻值时的初始测试电流，然后将开尔文四线电阻测试装置的可调恒流源的输出电流设定为该初始测试电流，之后将该应力测试单元设置在烘箱中进行烘焙，并通过电流恒定测试法测得烘焙后电阻值，最后依据烘焙后电阻值和初始电阻值判断该应力测试单元的应力迁移状况。本发明可高效并高精准度的进行应力迁移测试。

主权项

一种可提高测试效率的应力迁移测试方法，用于测试具有四个测试点的应力测试单元的应力迁移，该测试方法包括以下步骤：a、提供一开尔文四线电阻测试装置，其具有电流输入输出探针，该电流输入输出探针末端间串联连接一可调恒流源，该测试装置针对可调恒流源的输出电流的变化与否具有电流自适应模式和电流恒定模式；b、提供一具有该应力测试单元的待测晶圆和一预设烘焙时间序列；其特征在于，该方法还包括以下步骤：c、将开尔文四线电阻测试装置设定为电流自适应模式，通过电流自适应测试法测出该应力测试单元的初始电阻值，并记录测得该初始电阻值时的初始测试电流；d、将开尔文四线电阻测试装置设定为电流恒定模式，且将该可调恒流源的输出电流设定为该初始测试电流；e、将该待测晶圆设置在烘箱中进行烘焙；f、在烘焙时间为预设烘焙时间序列中的预设烘焙时间时，将待测晶圆取出冷却后使用四线电阻测试装置并通过电流恒定测试法测出该应力测试单元的烘焙后电阻值；g、判断预设烘焙时间序列中的所有预设烘焙时间是否全部完成，若否则返回步骤e，若是则依据烘焙后电阻值与初始电阻值判断应力迁移状况。