发明名称 |
一种复合型检测扫描电子显微镜失真的标准样品制备方法 |
摘要 |
本发明属于大型精密仪器的技术指标测试、故障检查定位领域,特别是涉及一种检测扫描电子显微镜失真的标准样品制备方法。其特征是以昆虫的复眼器官表面角质层为结构模型,在其表面覆盖一层铂金膜层,形成标准样品。昆虫以鳞翅目蝶类的粉蝶科虫,取昆虫复眼中心部位外表面角质层1mm×1mm的面积,通过用银导电胶将样品粘到扫描电子显微镜专用样品台中心,粘贴时需将样品放平、四周被按实,使样品与样品台紧密接触,待导电胶干燥后,用离子溅射仪为其表面镀50纳米厚铂金膜。本发明的目的是解决现有的标准样品倍率范围低、样品不规范、只能检测较窄范围等方面存在的问题。 |
申请公布号 |
CN101493396B |
申请公布日期 |
2011.04.20 |
申请号 |
CN200810229286.5 |
申请日期 |
2008.12.04 |
申请人 |
沈阳农业大学 |
发明人 |
陈伟之 |
分类号 |
G01N13/10(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I |
主分类号 |
G01N13/10(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 |
代理人 |
宋铁军 |
主权项 |
一种复合型检测扫描电子显微镜失真的标准样品制备方法,其特征在于:以昆虫的复眼器官表面角质层为结构模型,在其表面覆盖一层铂金膜层,形成标准样品;此标准样品在被放大到毫米倍率段上显示为六边形组成排列整齐的矩阵;放大到微米倍率段上显示为多个中心轴对称的六边形和单个中心轴对称的正规六边形,以及单个六边形内部含有占面积90%以上的颗粒排列整齐的矩阵;放大到纳米倍率段上显示的是标准圆形结构;所述的昆虫的复眼器官是指鳞翅目蝶类的粉蝶科虫的复眼。 |
地址 |
110161 辽宁省沈阳市东陵区东陵路120号 |