基板检查装置

摘要

本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：浮起平台部(6)，该浮起平台部(6)使基板(1)浮起并对其进行水平支撑；第1基板搬运装置(9)，其保持基板(1)的端部，在使基板(1)在浮起平台部(6)上方浮起的状态下对基板(1)进行搬运；检查部，其对由第1基板搬运装置(9)搬运来的基板(1)进行检查；以及第2基板搬运装置(8)，其在浮起平台部(6)的端部配置有多个可进行旋转驱动的旋转体(8b)，该旋转体(8b)被设置成可以出没于浮起平台部(6)的搬运面，并支撑基板(1)的背面，以将基板(1)搬入到浮起平台部(6)内。

主权项

一种基板检查装置，其特征在于，该基板检查装置具有：浮起平台部，该浮起平台部使基板在搬运面上方浮起并对其进行水平支撑；第1基板搬运装置，该第1基板搬运装置保持上述基板的端部，在使上述基板在上述浮起平台部的上述搬运面上方浮起的状态下，向第一方向搬运上述基板；检查部，该检查部在上述搬运面上对由上述第1基板搬运装置搬运来的上述基板进行检查；以及第2基板搬运装置，该第2基板搬运装置在上述浮起平台部的上述搬运面的上述第一方向上的搬入侧端部或搬出侧端部配置有多个可进行旋转驱动的旋转体，这些旋转体被设置成可出没于上述搬入侧端部或搬出侧端部，并支撑上述基板的背面，以将上述基板向与上述第一方向相同的方向搬运，使上述旋转体比上述搬运面向上方突出，利用上述第2基板搬运装置将上述基板搬入到上述浮起平台部或者将上述基板从上述浮起平台部搬出，并且使上述旋转体下降到比上述搬运面靠下方的位置，利用上述第1基板搬运装置使上述基板在上述搬运面上方浮起，在该状态下搬运上述基板的同时利用上述检查部对上述基板进行检查。