任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统及其方法

摘要

本发明公开一种任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统，包括至少一个真空室，每个真空室内均具有位于其中的M组荫罩板和沉积源；基板，具有M个基本单元，每一基本单元均一致性地被分割为N个区域；传动装置，用于使基板或荫罩板沿真空室的路径进行平移而使得在N个不同时间里，该M组荫罩板分别对应于M个基本单元中的不同区域；M为大于或等于1的自然数，N为大于或等于2的自然数。本发明具有能简化整个沉积系统、移动次数少以及能控制沉积材料的功效。

主权项

一种任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统，其特征在于，包括：至少一个真空室，每个真空室内均具有位于其中的M组荫罩板和沉积源；基板，具有M个基本单元，每一基本单元均一致性地被分割为N个区域；传动装置，用于使基板或荫罩板沿真空室的路径进行平移而使得在N个不同时间里，该M组荫罩板分别对应于M个基本单元中的不同区域；其中，M为大于或等于1的自然数，N为大于或等于2的自然数。