| 发明名称 | 一种化学机械研磨刮伤的检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种化学机械研磨刮伤的检测方法，包括：将完成化学机械研磨的晶圆在氧化性酸溶液中浸泡一定时间；对所述经过浸泡的晶圆进行检测。本发明解决了现有技术中不容易检测细微刮伤的技术问题，使细微刮伤被加强，使检测结果的精确度更高了。 | ||
| 申请公布号 | CN102023106A | 申请公布日期 | 2011.04.20 |
| 申请号 | CN200910195835.6 | 申请日期 | 2009.09.17 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 朱也方;李建平 |
| 分类号 | G01N1/28(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I | 主分类号 | G01N1/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种化学机械研磨刮伤的检测方法，包括：将完成化学机械研磨的晶圆在氧化性酸溶液中浸泡一定时间；对所述经过浸泡的晶圆进行检测。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||