涂敷装置及其涂敷位置修正方法

摘要

本发明涉及涂敷装置及其涂敷位置修正方法，修正门形架、其涂敷头的位置偏差。在基台(1)上分别设有跨越基板载置台(8)的可在X轴方向移动的门形架(3L、3R)，在各门形架上设有可在Y轴方向移动的涂敷头(5La～5Lc、5Ra～5Rc)。在基板载置台(8)的门形架(3L、3R)侧分别设有模拟用玻璃基板(10a、10b)，由门形架(3L、3R)的涂敷头(5La～5Lc、5Ra～5Rc)在模拟用玻璃基板(10a、10b)上描绘浆料记号，根据这些记号的位置检测出涂敷头(5La～5Lc)间的、涂敷头(5Ra～5Rc)间的XY轴方向的位置偏差。在基板载置台(8)部设置基准位置记号(9)，通过检测门形架(3L、3R)朝该基准位置记号(9)的移动距离，检测出这些门形架的X轴方向的位置偏差。

主权项

一种涂敷装置，在基台上设置能在第1方向移动的多个门形架，在每个门形架上设置能在沿着该门形架的长度方向的第2方向移动的多个涂敷头，利用该门形架朝第1方向的移动和该涂敷头相对于该门形架朝该第2方向的移动，该涂敷头一边在该第1、第2方向移动，一边对载置在基板载置台的基板上涂敷浆料，由每个该涂敷头在该基板上描绘浆料图案，该基板载置台设在架台上，其特征在于，该涂敷头分别备有照相机；在该基板载置台上，对每个该门形架设置用于对设在该门形架上的多个该涂敷头进行对位的模拟用玻璃基板，并且，设置多个该门形架对位用的基准位置记号；在该模拟用玻璃基板上，由同一该门形架上的多个该涂敷头涂敷浆料，描绘浆料记号；该涂敷装置备有第1机构和第2机构；上述第1机构，通过用该照相机对描绘在该模拟用玻璃基板上的该浆料记号进行拍摄、检测出该浆料记号的描绘位置，从而检测出该门形架上的多个该涂敷头间的位置偏差，根据检测出的该位置偏差，进行多个该涂敷头相互间的对位；上述第2机构，通过使多个该门形架分别在该第1方向移动到该基板载置台上的该基准位置记号被该照相机拍摄的位置，检测出该各个门形架移动到该基准位置记号的位置的移动距离，对该门形架的每一个检测相对于用于描绘浆料图案而预定的待机位置在该第1方向的位置偏差，根据检测出的该位置偏差，将该门形架的每一个对位到该待机位置。