| 摘要 |
1. Способ измерения рельефа и свойств поверхности для сканирующего зондового микроскопа, в котором сканирование осуществляют в направлении, параллельном поверхности образца по заданной траектории, данные регистрируют при прямом или обратном проходе, а для формирования управляющего вертикальными перемещениями сигнала используют массив значений управляющего сигнала, снятый на предыдущей строке сканирования, отличающийся тем, что еще используют массив значений сигнала ошибки рассогласования, умноженный на калибровочный коэффициент. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что значение калибровочного коэффициента определяют до начала сканирования по углу наклона кривой зависимости сигнала ошибки рассогласования от управляющего сигнала. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что значение калибровочного коэффициента определяют по прямому и обратному проходам в каждой строке сканирования. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют массивы значений управляющего сигнала и массивы значений сигнала ошибки рассогласования, снятые более чем на одной предыдущей строке сканирования. ! 5. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют Фурье-фильтр, обеспечивающий фильтрацию массива значений сигнала ошибки рассогласования. ! 6. Способ по п.5, отличающийся тем, что параметры Фурье-фильтра определяют по отклику сигнала с датчика вертикальных перемещений на короткий импульс управляющего сигнала. ! 7. Способ по п.5, отличающийся тем, что параметры Фурье-фильтра определяют по отклику сигнала ошибки рассогласования на короткий импульс управляющего сигнала. ! 8. Способ по п.5, отличающийся тем, что пересчет параметров Фурье- |
