| 发明名称 | 净化过氧水溶液的方法、可由此得到的溶液及其用途 | ||
| 摘要 | 净化过氧水溶液的方法，包括利用(a)至少一个膜净化步骤、(b)任选的至少一个离子交换净化步骤、(c)任选的至少一个稀释步骤和(d)至少一个其它净化步骤处理过氧水溶液，所有步骤可以按任意顺序进行操作。可以通过这种方法获得TOC水平少于1mg/kg的过氧水溶液。它们可以用于半导体制造。 | ||
| 申请公布号 | CN1863731B | 申请公布日期 | 2011.04.20 |
| 申请号 | CN200480028732.6 | 申请日期 | 2004.10.01 |
| 申请人 | 索尔维公司 | 发明人 | 罗伯特·欧文;于尔根·博塞;米夏埃尔·泽尔 |
| 分类号 | C01B15/013(2006.01)I | 主分类号 | C01B15/013(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 顾晋伟;刘继富 |
| 主权项 | 净化过氧化氢水溶液的方法，包括利用首先是至少一个膜净化步骤，随后是至少一个选自暴露在紫外光下、暴露在臭氧中、与至少一种吸附树脂接触及其任意组合的其它净化步骤来处理过氧化氢水溶液。 | ||
| 地址 | 比利时布鲁塞尔 | ||