一种发光二极管外延片和其制造方法

摘要

一种发光二极管外延片和其制造方法，该方法包括：在LED的非出光面上生长用于反射入射角大于36度出射光的第一背镀层；第一背镀层上生长用于反射入射角小于36度出射光的第二背镀层；该方法还包括，第二背镀层上生长用于保护和散热的第三背镀层。本发明在LED的非出光面制作对LED出射光对应波段具有高反射率和良好导热的薄膜结构，提高了LED的出光效率和可靠性。

主权项

一种发光二极管外延片的制造方法，该方法包括：在蓝宝石衬底的器件面依次形成缓冲层、n型半导体层、有源区发光层和p型半导体层，以及n型半导体层，p型半导体层上的电流扩散层，在非出光面依次生长用于反射入射角大于36度出射光的第一背镀层；在第一背镀层上生长用于反射入射角小于36度出射光的第二背镀层。