提高电池光电转换效率链式湿法刻蚀设备

摘要

本实用新型涉及一种提高电池光电转换效率链式湿法刻蚀设备。它包括碱槽，在碱槽内设置下喷淋装置，下喷淋装置由多个平行的喷淋管组成，相邻两根喷淋管的喷淋方向相反。本设备保证了扩散面边缘及非扩散面残留刻蚀液被有效中和，同时避免扩散面沾上碱液，使扩散后的正常产品硅片，在经过本设备后，方阻变化值有效控制在2Ω/□左右，降低因方阻过高造成电池烧结过程PN结烧穿的风险，同时可提高单片晶硅电池效率0.2％～0.3％。

主权项

一种提高电池光电转换效率链式湿法刻蚀设备，包括碱槽(1)，其特征是：在所述的碱槽(1)内设置下喷淋装置，下喷淋装置由多个平行的喷淋管(2)组成，相邻两根喷淋管(2)的喷淋方向相反。