一种硅片生产中使用的石墨舟

摘要

一种硅片生产中使用的石墨舟，由若干片第一石墨片和若干片第二石墨片平行相间排列组合而成，第一石墨片两端下部设置有第一接线凸耳，第一石墨片的第一接线凸耳通过若干第一接线块以及第一连接螺栓连接形成石墨舟一极的接线柱，第二石墨片两端中上部设置有第二接线凸耳，第二石墨片的第二接线凸耳通过若干第二接线块及第二连接螺栓连接形成石墨舟另一极的接线柱，每一第一石墨片和第二石墨片对应放置硅片的位置镂空成硅片镀膜区域形状，石墨销钉的外径比通孔的孔径大0～0.003mm。本实用新型安装后石墨舟片及销钉之间紧密配合而不松动；由于两者的热膨胀系数不同，采用加热的方式装配便于销钉进入通孔中，避免了硬挤压造成销钉断裂的现象。

主权项

一种硅片生产中使用的石墨舟，由若干片第一石墨片和若干片第二石墨片平行相间排列组合而成，所述第一石墨片两端下部设置有第一接线凸耳，所有第一石墨片的第一接线凸耳通过若干第一接线块以及第一连接螺栓连接形成石墨舟一极的接线柱，所述第二石墨片两端中上部设置有第二接线凸耳，所有第二石墨片的第二接线凸耳通过若干第二接线块以及第二连接螺栓连接形成石墨舟另一极的接线柱，所述每一第一石墨片和第二石墨片对应放置硅片的位置镂空成硅片镀膜区域形状。