溅射方法

摘要

本发明涉及一种溅镀方法。并列设置多块靶，经多台双极脉冲电源给该并列设置的靶提供双极脉冲电力，实施上述溅射法时，可用简单控制而基本不受噪声影响，高精度地给靶提供电力。在通过切换连接在从直流电力供给源引出的正负直流输出端子上的电桥电路52的各开关元件SW1～SW4的通断，给各成对的靶提供双极脉冲电力，溅镀各靶的溅射法之中，在使设置在从前述直流电力供给源引出的正负直流输出之间的短路用开关元件SW0处于短路状态下切换前述开关元件的通断的同时，错开各电桥电路的输出短路用开关元件的切换定时。

主权项

一种溅射方法，针对在溅射室内与处理基板相对的位置上且隔规定的间隔并列设置的多块靶中的各成对的靶，通过切换连接在从直流电力供给源引出的正负直流输出端子上的电桥电路的各开关元件的通断，提供双极脉冲状电力，使靶交替切换为阳极电极及阴极电极，在阳极电极以及阴极电极间产生辉光放电形成等离子气氛以溅镀各靶，其特征在于：在使设置在从前述直流电力供给源引出的正负直流输出之间的输出短路用开关元件处于短路状态下，切换前述开关元件的通断的同时，错开输出短路用开关元件的切换定时。