| 发明名称 | 一种激光探针微区成分分析仪 | ||
| 摘要 | 本发明属于激光探测技术领域，具体为一种激光探针微区成分分析仪。其结构为：激光器，扩束镜和第一全反射镜依次位于同一水平光路上；第一全反射镜的反射面与水平光路的夹角为45度；工业CCD位于第一全反射镜的上方，工业CCD和第一聚焦物镜自上而下依次放置且光轴重合；三维工作台的工作台面位于第一聚焦物镜的下方；全反射镜活动安装在样品的反射光路上，光纤探头位于全反射镜的反射光路上；工业CCD通过光纤与带有显示器的计算机连接，光纤探头与光栅光谱仪、增强型CCD和计算机连接。该激光探针仪能对物质微区元素进行无损探测，能满足各种材料及尺寸的器件的快速元素成分定性分析，还可以针对样品微区的微量甚至痕量元素进行高精度的定量分析。 | ||
| 申请公布号 | CN101587074B | 申请公布日期 | 2011.04.20 |
| 申请号 | CN200910062846.7 | 申请日期 | 2009.06.23 |
| 申请人 | 华中科技大学 | 发明人 | 曾晓雁;陆永枫;郭连波;蔡志祥;曹宇;李常茂 |
| 分类号 | G01N21/64(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G02B7/182(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/64(2006.01)I |
| 代理机构 | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人 | 曹葆青 |
| 主权项 | 一种激光探针微区成分分析仪，其特征在于：激光器(1)、扩束镜(5)和第一全反射镜(7)依次位于同一水平光路上，第一全反射镜(7)的反射面与水平光路的夹角为45度；激光器(1)为可调谐脉冲激光器，激光器(1)内带有小孔光阑或者其出光口设置有小孔光阑；工业CCD(10)位于第一全反射镜(7)的上方，第一聚焦物镜(19)位于第一全反射镜(7)下方，第一聚焦物镜(19)和工业CCD(10)的光轴重合；三维工作台的工作台面位于第一聚焦物镜(19)的下方，用于放置样品(23)；第二全反射镜(9)活动安装在样品(23)的反射光路上，光纤探头(8)位于第二全反射镜(9)的反射光路上；工业CCD(10)通过光纤与带有显示器的计算机连接，光纤探头(8)通过光纤(25)依次与光栅光谱仪(27)、增强型CCD(28)相连，后者通过同轴电缆和计算机连接。 | ||
| 地址 | 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 | ||