体波滤波器

摘要

一种具有多个体波谐振器的体波滤波器，体波谐振器包括：衬底(1)；淀积在衬底上的压电材料层(3)；第一电极(2)和第二电极(4)，其设置在压电材料层(3)的相对表面上，第一电极(2)和第二电极(4)的重叠区域限定了体波谐振器的谐振范围，其特征在于，与至少其中一个电极(2，4)平行的相交平面中的重叠区域具有范围在1≤(b/a)≤100的长宽比，其中a是体波谐振器的长度，b是其宽度。

主权项

一种具有多个体波谐振器(S，P)的体波滤波器，其中每一个体波谐振器在第一方向上包括：‑衬底(1)；‑衬底(1)上的第一电极(2)；‑淀积在衬底(1)和第一电极(2)上的压电材料层(3)；‑设置在压电材料层(3)顶部上的第二电极，其中在第一电极(2)和第二电极之间限定重叠区域，从而限定体波谐振器的谐振范围，其中第一电极(2)完全嵌入在压电材料层(3)和衬底(1)之间；所述体波滤波器还包括在滤波器的输入(I)和输出(O)之间设置为串联谐振器(S)的至少两个体波谐振器，以及设置为并联谐振器(P)的至少两个体波谐振器，其中并联谐振器(P)的各个第二电极接地；其中第一电极(2)限定所述至少两个串联谐振器(S)和所述至少两个并联谐振器(P)的共用的电极，其中串联谐振器(S)的第二电极与共用的第一电极(2)的重叠区域设置在并联谐振器(P)的第二电极与共用的第一电极(2)的重叠区域之间，其特征在于，串联谐振器(S)的重叠区域在第二方向上具有长度a，在第三方向上具有宽度b，第一、第二和第三方向中的每一个方向垂直于其他方向，并且第二方向沿着从体波滤波器的输入(I)向输出(O)的电流流动方向，并且宽度b与长度a的宽长比在1≤(b/a)≤100的范围内。