衬底运送系统

摘要

本发明涉及一种可降低污染物的衬底传送及支撑系统，其中一种将衬底运送到处理腔室中的衬底支撑件上的运送系统，包含：将衬底运送到输送臂；检测器，用于检测输送臂在腔室中的位置并产生关于该位置的信号；衬底提升组件，用于自输送臂接收衬底并降低衬底到支撑件上；及控制器，包含程序代码来控制输送臂、检测器及提升组件以将衬底运送到衬底支撑件上，程序代码包含衬底居中控制代码，用以控制衬底输送臂的移动以将衬底定位到支撑件的，其通过(1)接收来自检测器的信号并判定在处理腔室中衬底的位置，(2)计算包含衬底所检测到的位置与处理腔室的中心之间的差的偏移距离，及(3)产生关于偏移距离的控制信号控制输送臂以将衬底定位到支撑件的。

主权项

一种衬底运送系统，用于将一衬底运送到一处理腔室中的一衬底支撑件上，该运送系统包含：(a)一输送臂，用于将该衬底运送到该腔室中；(b)一检测器，用于检测该输送臂在该腔室中的位置，并产生关于该位置的一信号；(c)一衬底提升组件，用于自该输送臂接收该衬底，并降低该衬底到该衬底支撑件上；及(d)一控制器，其包含有程序代码来控制该输送臂、检测器及提升组件以将该衬底运送到该衬底支撑件上，该程序代码包含：(i)衬底居中控制代码，用以控制该衬底输送臂的移动，以将该衬底基本上定位到该衬底支撑件的中央，其通过(1)接收来自该检测器的信号，并判定在该处理腔室中衬底的位置，(2)计算一偏移距离，其包含该衬底所检测到的位置与该处理腔室的中心之间的差距，及(3)产生关于该偏移距离的控制信号来控制该输送臂的移动以将该衬底实质上定位到该衬底支撑件的中央。