发明名称 光学感测组件的改良方法
摘要 本发明是有关于一种光学感测组件的改良方法,包括下列步骤:提供一光学感测组件;酸处理该光学感测组件表面;形成一金属薄膜于经过酸处理的该光学感测组件表面;以及等离子体改质该光学感测组件的该金属薄膜。由上述可知,本发明先以酸处理的简易方式,清洁光学感测组件表面且同时改善其表面亲水性,使得后续的金属薄膜更为平坦且对于光学感测组件的附着度提高,让光学感测组件表面先行具有良好的亲水性后,再结合使用等离子体改质,更加改善光学感测组件的光学特性。
申请公布号 CN102023131A 申请公布日期 2011.04.20
申请号 CN200910175506.5 申请日期 2009.09.17
申请人 福华电子股份有限公司 发明人 曹育嘉;赵敏孜;蔡五湖;张舒婷;叶筱玲
分类号 G01N21/01(2006.01)I;G01N33/68(2006.01)I;G01N33/52(2006.01)I;G01N33/53(2006.01)I 主分类号 G01N21/01(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 周长兴
主权项 一种光学感测组件的改良方法,包括下列步骤:提供一光学感测组件;酸处理该光学感测组件表面;形成一金属薄膜于经过酸处理的该光学感测组件表面;以及等离子体改质该光学感测组件的该金属薄膜。
地址 中国台湾台北市