发明名称 METHOD FOR CONTROLLING APERTURE STOPS
摘要
申请公布号 EP2310891(A1) 申请公布日期 2011.04.20
申请号 EP20090777413 申请日期 2009.07.24
申请人 CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH 发明人 MOELLER, GERHARD
分类号 G02B21/22;G02B5/00;G02B21/24;G02B23/24;G02F1/00;G03B9/08 主分类号 G02B21/22
代理机构 代理人
主权项
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