电弧式蒸发源

摘要

本发明提供一种能够抑制电弧点向阴极蒸发面以外的部分移动的电弧式蒸发源。所述电弧式蒸发源通过由磁场控制的电弧放电来使阴极(22)的阴极物质蒸发，其具备：磁场形成机构(42)，其在阴极前端的蒸发面(22a)附近形成与阴极中心轴(Ax)平行的成分强的磁场(M)，且配置在阴极的外侧；支承机构(26)，其支承阴极；冷却机构(61)，其冷却阴极；锥形环(64)，其形成圆锥台状，具有使阴极沿其轴向贯通的贯通孔，且配置成向着阴极的蒸发面逐渐变细，锥形环由强磁性体构成，使用时锥形环的前端(64a)与阴极的蒸发面位于相同的面或位于比蒸发面稍后退的位置。

主权项

一种电弧式蒸发源，其通过由磁场控制的电弧放电来使阴极的阴极物质蒸发，所述电弧式蒸发源的特征在于，具备：所述阴极；磁场形成机构，其在所述阴极前端的蒸发面附近形成与阴极中心轴平行的方向的磁场，且配置在所述阴极的外侧；支承机构，其支承所述阴极；冷却机构，其冷却所述阴极；锥形环，其形成圆锥台状，具有使所述阴极沿其轴向贯通的贯通孔，且配置成向着所述阴极的蒸发面逐渐变细，所述锥形环由强磁性体构成，使用时所述锥形环的前端与所述阴极的蒸发面位于相同的面或位于比所述蒸发面靠后方的位置。