锑化铟材料表面化学机械抛光液的制备方法

摘要

本发明公开了一种锑化铟材料表面化学机械抛光液的制备方法，旨在提供一种采用负压涡流搅拌的方法制备抛光液，避免硅溶胶的凝胶或溶解，同时，避免有机物、金属离子、大颗粒等有害物质进入抛光液中，提高抛光液的纯度。使用电阻为18MΩ以上的超纯水对透明密闭反应釜及进料管道进行清洗，使清洗后废液的电阻不低于16MΩ，将胺碱加入到已清洗过的透明密闭的反应釜中，对透明密闭反应釜抽真空使透明密闭反应釜内呈负压完全涡流状态，形成完全涡流搅拌；边进行完全涡流搅拌边将活性剂、FA/O螯合剂依次加入到透明密闭反应釜中；边进行完全涡流搅拌边将硅溶胶抽入到透明密闭反应釜中，充分完全涡流搅拌5-15分钟后得到pH值为9-12的抛光液。

主权项

一种锑化铟材料表面化学机械抛光液的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：(1)使用电阻为18MΩ以上的超纯水对透明密闭反应釜及进料管道进行清洗，使清洗后废液的电阻不低于16MΩ；所述透明密闭反应釜的材料为聚丙烯、聚乙烯、聚甲基丙烯酸甲脂中的任一种；(2)将胺碱通过步骤(1)清洗过的进料管道加入到步骤(1)已清洗过的透明密闭的反应釜中，对透明密闭反应釜抽真空使透明密闭反应釜内呈负压完全涡流状态，形成完全涡流搅拌；(3)边进行完全涡流搅拌边通过步骤(1)清洗后的管道将活性剂、FA/O螯合剂依次加入到透明密闭反应釜中，持续保持完全涡流状态；(4)边进行完全涡流搅拌边将质量百分比浓度为50％、粒径为15‑25nm、莫氏硬度为7的硅溶胶通过步骤(1)清洗后的管道抽入到透明密闭反应釜中，充分完全涡流搅拌5‑15分钟后得到pH值为9‑12的抛光液得到的抛光液按质量百分比的组成为：质量百分比浓度为50％、粒径为15‑25nm、莫氏硬度为7的硅溶胶80‑96.4％，活性剂0.5‑5％，FA/O螯合剂0.1‑5％，胺碱3‑10％。