用于SiC MESFET直流测试的夹具

摘要

本发明公开了一种用于SiC MESFET直流测试的夹具，属于场效应晶体管测试领域。其包括布有滤波电路的PCB板和承载所述PCB板的金属板；所述金属板设有用于固定被测SiC MESFET器件的凹槽，所述PCB板设有与上述凹槽对应的通孔；所述滤波电路包括栅极滤波电路和漏极滤波电路，所述栅极滤波电路和漏极滤波电路的输出端分别通过偏置线与栅极传输线和漏极传输线连接，所述栅极传输线和漏极传输线的一端分别设有与被测SiC MESFET器件的栅极和漏极连接的触点，所述栅极传输线和漏极传输线的另一端分别设有防自激模块。本发明通过防自激模块，可以消除器件自激现象；提高了器件的测试效率，同时为器件特性的表征积累了宝贵数据。

主权项

一种用于SiC MESFET直流测试的夹具，其包括布有滤波电路的PCB板（10）和承载所述PCB板（10）的金属板（11）；所述金属板（11）设有用于固定被测SiC MESFET器件的凹槽（8），所述PCB板（10）设有与上述凹槽（8）对应的通孔；所述滤波电路包括栅极滤波电路（1）和漏极滤波电路（3），所述栅极滤波电路（1）和漏极滤波电路（3）的输出端分别通过偏置线（2）与栅极传输线（9）和漏极传输线（7）连接，所述栅极传输线（9）和漏极传输线（7）的一端分别设有与被测SiC MESFET器件的栅极和漏极连接的触点，其特征在于所述栅极传输线（9）和漏极传输线（7）的另一端分别设有防自激模块。