准分子激光系统的操作方法

摘要

本发明公开一种准分子激光系统的操作方法。首先，在气体室中注入一注入量的卤素气体，直到气体室的气压为一总气压时停止注入卤素气体，且气体室中的卤素气体具有一卤素气压。然后，提供一驱动电压在气体室中的二电极之间，以开启准分子激光系统。卤素气压为限制于与准分子激光系统所产生的激光的一半高带宽有负相关，且卤素气压为限制于与驱动电压有正相关。

主权项

一种准分子激光系统的操作方法，该准分子激光系统包括一气体室、一用于提供一卤素气体的第一气体供应单元以及一用于提供一混合气体的第二气体供应单元，该混合气体包括一第一惰性气体以及一第二惰性气体，且该气体室填充有一原反应气体，该操作方法包括：在该气体室中注入一注入量的该卤素气体，直到该气体室的气压为一总气压时停止注入该卤素气体，且该气体室中的该卤素气体具有一卤素气压；以及提供一驱动电压在该气体室中的二电极之间，以开启该准分子激光系统，其中该卤素气压为限制于与该准分子激光系统所产生的激光的一半高带宽有负相关，且该卤素气压为限制于与该驱动电压有正相关。