石英制品的烘焙方法以及石英制品

摘要

本发明的石英制品烘焙方法，在用于除去搬入热处理半导体基板的热处理装置内且至少部分与热处理装置的热处理气体接触的第一和第二石英制品所包含的金属的烘焙方法，包括下述工序：使用第一夹具要素部件与第二夹具要素部件以可装卸的方式以段状层叠构成的夹具，在第一夹具要素部件上载置第一石英制品，在第一夹具要素部件上层叠第二夹具要素部件，在第二夹具要素部件上载置第二石英制品；将以段状载置石英制品的夹具搭载在盖体上使该盖体上升，从烘焙用立式容器下端开口部将夹具搬入烘焙用立式容器内并利用盖体密闭烘焙用立式容器下端开口部；加热烘焙用立式容器内的气体；将包括氯化氢气体与提高氯化氢气体反应性用的气体的烘焙用气体供给烘焙用立式容器内。

主权项

一种石英制品的烘焙方法，其特征在于：其是用于除去被搬入到热处理半导体基板的热处理装置内并且至少部分与该热处理装置的热处理气体接触的第一石英制品以及第二石英制品中所包含的金属的烘焙方法，其中，包括：使用第一夹具要素部件与第二夹具要素部件按照可自由装卸的方式以段状层叠而构成的夹具，在第一夹具要素部件上载置第一石英制品，在所述第一夹具要素部件上层叠第二夹具要素部件，在该第二夹具要素部件上载置第二石英制品的工序；将以段状载置有石英制品的所述夹具搭载在盖体上，使该盖体上升，从烘焙用立式容器的下端开口部将所述夹具搬入到所述烘焙用立式容器内，并且利用该盖体密闭所述烘焙用立式容器的下端开口部的工序；加热所述烘焙用立式容器内的气体的工序；和将包括氯化氢气体与用于提高该氯化氢气体的反应性的气体的烘焙用气体供给到所述烘焙用立式容器内的工序；所述第一夹具要素部件以及所述第二夹具要素部件分别具有相互层叠的夹具要素部件本体、以及设置在该夹具要素部件本体上的用来载置石英制品的载置板。