发明名称 INDUCTIVELY-DRIVEN PLASMA LIGHT SOURCE
摘要
申请公布号 EP1774838(B1) 申请公布日期 2011.04.20
申请号 EP20050770180 申请日期 2005.07.07
申请人 ENERGETIQ TECHNOLOGY INC. 发明人 SMITH, DONALD, K.;HORNE, STEPHEN, F.;BESEN, MATTHEW, M.;BLACKBOROW, PAUL, A.
分类号 H01J65/04;H05G2/00 主分类号 H01J65/04
代理机构 代理人
主权项
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