一种真空镀膜机的光栅阀控制装置

摘要

一种真空镀膜机的光栅阀控制装置，包括电气控制系统、步进电机和光电限位机构，步进电机和光电限位机构均与电气控制系统电气连接，通过电气控制系统控制步进电机和光电限位机构动作，所述步进电机的电机轴通过连接轴与光栅阀的主轴相连接，所述光电限位机构由两个光电感应器和固定安装在所述连接轴上的遮光盘构成，所述遮光盘上开有透光窄缝，它随连接轴转动，所述的两个光电感应器以相互垂直方式安装，分别对应光栅阀全开和全闭状态。这种光栅阀控制装置控制精度高，可以精确重复真空镀膜工艺参数以保证镀膜质量，并且可以实现自动化控制光栅阀开启角度。

主权项

一种真空镀膜机的光栅阀控制装置，其特征在于：它包括电气控制系统、步进电机和光电限位机构，步进电机和光电限位机构均与电气控制系统电气连接，通过电气控制系统控制步进电机和光电限位机构动作，所述步进电机的电机轴通过连接轴与光栅阀的主轴相连接，所述光电限位机构由两个光电感应器和固定安装在所述连接轴上的遮光盘构成，所述遮光盘上开有透光窄缝，它随连接轴转动，所述的两个光电感应器以相互垂直方式安装，分别对应光栅阀全开和全闭状态，两个光电感应器均为U型感应器，U型开口涵盖遮光盘开有透光窄缝的盘体，其中，一个光电感应器处于水平安装位置，其对应于光栅阀完全打开的状态，另一个感应器处于竖直安装位置，其对应于光栅阀完全关闭的状态，所述光电感应器的内置红外线光源安置在面对遮光盘的一侧，感应件安置在面对遮光盘的另一侧，并且与所述光源位置相对。