| 发明名称 | 一种用于扩散工艺的源瓶 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于扩散工艺的源瓶，包括一密闭瓶体和设置于所述瓶体顶面的进气管和出气管，所述瓶体底面局部向下凹陷形成一集源槽，所述进气管向瓶体内部延伸至接近所述集源槽的底面。本实用新型的源瓶提高了源利用率，降低了生产成本，并且减少了有毒物质的排放，减轻了对于环境的污染。 | ||
| 申请公布号 | CN201804844U | 申请公布日期 | 2011.04.20 |
| 申请号 | CN201020262172.3 | 申请日期 | 2010.07.13 |
| 申请人 | 无锡尚德太阳能电力有限公司 | 发明人 | 鲁科;杨斌 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人 | 黄威;廉振保 |
| 主权项 | 一种用于扩散工艺的源瓶，包括一密闭瓶体和设置于所述瓶体顶面的进气管和出气管，其特征是所述瓶体底面局部向下凹陷形成一集源槽，所述进气管向瓶体内部延伸至接近所述集源槽的底面。 | ||
| 地址 | 214028 江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号 | ||