发明名称 METHOD FOR OBTAINING HIGH-QUALITY BOUNDARY FOR SEMICONDUCTOR DEVICES FABRICATED ON A PARTITIONED SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP2140504(B1) 申请公布日期 2011.04.20
申请号 EP20080748460 申请日期 2008.05.06
申请人 LATTICE POWER (JIANGXI) CORPORATION 发明人 WANG, LI;JIANG, FENGYI
分类号 H01L33/00;H01L21/20;H01L21/301;H01L21/306;H01L27/15 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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