发明名称
摘要
申请公布号 JP4672217(B2) 申请公布日期 2011.04.20
申请号 JP20010267393 申请日期 2001.09.04
申请人 发明人
分类号 H01L29/792;H01L21/8234;H01L21/8247;H01L27/088;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/788 主分类号 H01L29/792
代理机构 代理人
主权项
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