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发明名称
摘要
申请公布号
JP4672217(B2)
申请公布日期
2011.04.20
申请号
JP20010267393
申请日期
2001.09.04
申请人
发明人
分类号
H01L29/792;H01L21/8234;H01L21/8247;H01L27/088;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/788
主分类号
H01L29/792
代理机构
代理人
主权项
地址
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