一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法

摘要

本发明涉及光伏或半导体领域，尤其涉及一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法。这种黄色烟雾的主要化学成分是氮氧化物，如一氧化氮、一氧化二氮、二氧化氮和四氧化二氮气体。本发明的技术方案是：将待洗硅料置于由混合酸和强氧化剂组成的混合溶液中；所述的混合酸是包含氢氟酸和硝酸的混合酸，也可以是包含其他无机酸或有机酸；所述的强氧化剂是标准电极电势高于硝酸的氧化剂，可以是过氧化氢、高锰酸钾、二氧化锰或臭氧。采用该技术方案在抑制黄色烟雾产生的同时，也不会对硅料清洗的质量产生影响。

主权项

一种抑制硅料酸洗时产生黄色烟雾的方法，其特征在于：将待洗硅料置于由混合酸和强氧化剂组成的混合溶液中。