发明名称 一种大型多晶锭的生产方法
摘要 本发明涉及太阳能电池铸锭技术领域,尤其是一种大型多晶锭的生产方法,先将氮化硅与水通过电动搅拌15min~30min混合均匀作涂覆液,将坩埚进行预热后,将涂覆液均匀涂覆在坩埚的内表面,然后坩埚进行高温烘焙,烘焙后的坩埚内进行装硅料,对装入硅料的坩埚进行装炉,将多晶炉抽真空后通入保护气体氩气,对多晶炉进行加热使得硅料融化,最后通过定向凝固,将融化的硅料从底部到上部逐渐结晶,然后通过高温退火逐步冷却后出炉,出炉后的晶锭在室温冷却后进行拆坩埚,获得用于切片做电池的多晶硅锭。实现比较大的装料量,既能提高铸锭的产能,晶锭的利用率,又能降低成本,满足大载荷切片机要求,维持其晶体质量不变。
申请公布号 CN102021650A 申请公布日期 2011.04.20
申请号 CN201010620738.X 申请日期 2010.12.31
申请人 常州天合光能有限公司 发明人 陈雪;黄振飞;张志强;李毕武
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B28/06(2006.01)I
代理机构 常州市维益专利事务所 32211 代理人 王凌霄
主权项 一种大型多晶锭的生产方法,其特征是:具有如下步骤a、先将500g~600g的氮化硅与1800ml~2400ml的水通过电动搅拌15min~30min混合均匀用作涂覆液,然后选用高度在420mm~480mm的坩埚进行预热到30℃~60℃,将涂覆液均匀涂覆在坩埚的内表面,或将400g~600g的氮化硅与1600ml~2400ml的水通过电动搅拌15min~30min混合均匀用作涂覆液,然后选用高度在420mm~480mm的坩埚进行预热到30℃~60℃,将80%~90%的氮化硅涂覆液均匀涂覆在坩埚的内表面上,剩余10%~20%的氮化硅涂覆液距在坩埚20cm跨度内均匀喷涂;b、喷涂完后的坩埚进行高温烘焙时长为18h~24h,其中烘焙最高温1000℃~1100℃的时长为3.5h~4.5h;c、烘焙后的坩埚内进行装480g~520g硅料,硅料包括块状多晶和碎多晶,其中碎多晶至少40kg,碎多晶粒径≤2cm;d、对装入硅料的坩埚进行装炉,将多晶炉抽真空后加入保护气体氩气,氩气的流量控制在20%‑60%,炉压控制在400mbar~600mbar,将硅料加热到1440℃~1560℃使得硅料融化;e、通过定向凝固,将融化的硅料从底部到上部逐渐结晶,然后退火温度保持在1300℃~1380℃的高温退火,逐步冷却到250℃~350℃出炉;f、出炉后的晶锭在室温冷却到45℃~55℃后进行拆坩埚,获得用于切片做电池的多晶硅锭。
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