| 摘要 |
Кантилевер для сканирующего зондового микроскопа, состоящий из основания, к которому прикреплена двухслойная балочка с расположенной на дальнем от основания конце иглой, отличающийся тем, что балочка выполнена из композитного материала, причем один из слоев выполнен из активного термочувствительного или магниточувствительного материала с ЭПФ, который чувствителен к внешнему воздействию, а другой является упругим. |
