发明名称 PREVENTION AND REDUCTION OF SOLVENT AND SOLUTION PENETRATION INTO POROUS DIELECTRICS USING A THIN BARRIER LAYER
摘要
申请公布号 KR20110039296(A) 申请公布日期 2011.04.15
申请号 KR20117002181 申请日期 2009.06.08
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 CHAN KELVIN;ELSHEREF KHALED A.;DEMOS ALEXANDROS T.;SHEK MEIYEE;LI LIPAN;XIA LI QUN;YIM, KANG SUB
分类号 H01L21/31;H01L21/28 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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