| 摘要 |
Ein Verfahren zum Auswählen eines optimierten Bewertungsmerkmalsteilsatzes für eine Inspektion von Freiformoberflächen weist einen Erzeugungsschritt auf zum Erzeugen einer Mehrzahl von Kombinationen aus Bewertungsmerkmalen, einen Bewertungsschritt zum Bewerten jedes Pixels oder eines Teilsatzes der Pixel der Muster eines Referenzsatzes mit jeder Kombination aus Bewertungsmerkmalen zum Erhalten eines bewerteten Zustands, einen Vergleichsschritt zum Vergleichen des bewerteten Zustands mit dem Referenzzustand zum Erhalten einer Erfassungsrate für jede Kombination aus Bewertungsmerkmalen und einen Bestimmungsschritt zum Bestimmen des optimierten Bewertungsmerkmalsteilsatzes basierend auf den Erfassungsraten. Ein Verfahren zum Inspizieren einer Freiformoberfläche, die durch ein strukturiertes Licht beleuchtet ist, weist einen Beleuchtungsschritt auf zum Beleuchten eines Bereichs der Freiformoberfläche, einen Aufzeichenschritt zum Aufzeichnen eines Bildes des beleuchteten Bereichs und einen Bewertungsschritt zum Bewerten jedes Pixels oder Teilsatzes der Pixel des Bildes mit einer Kombination aus Bewertungsmerkmalen zum Erhalten eines defekten oder nicht defekten Zustands des Oberflächenbereichs. |
