发明名称 KONDENSATORKONSTRUKTIONEN, RAUHE SILIZIUMHALTIGE OBERFLÄCHEN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON RAUHEN SILIZIUMHALTIGEN OBERFLÄCHEN
摘要
申请公布号 AT503267(T) 申请公布日期 2011.04.15
申请号 AT20040782390T 申请日期 2004.08.26
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 BLALOCK, GUY;BREINER, LYLE;PING, ER-XUAN;CHEN, SHENLIN
分类号 H01L21/02;H01L21/8242 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址