发明名称 HALTERING, FLEXIBLE MEMBRAN ZUR ANWENDUNG EINER BELASTUNG AUF DEN HALTERING UND HALTERINGANORDNUNG
摘要
申请公布号 AT503610(T) 申请公布日期 2011.04.15
申请号 AT20070022411T 申请日期 2007.11.19
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ZUNIGA, STEVEN M.;NAGENGAST, ANDREW J.;OH, JEONGHOON
分类号 B24B37/04;B24B41/06 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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