摘要 |
Es wird ein Drucksensor beschrieben, der einerseits einfach zu kalibrieren ist und andererseits eine hohe Messgenauigkeit aufweist. Der Drucksensor umfasst eine elastisch deformierbare, an ihrem Rand fixierte und aufgrund einer Druckdifferenz auslenkbare Membran, sowie zumindest zwei Auslenkungssensoren, wobei die Auslenkungssensoren die Auslenkung von jeweils unterschiedlich zur Mitte der Membran beabstandeten Flächenbereichen der Membran erfassen. Der Drucksensor umfasst eine Recheneinrichtung, welche aus den von den Auslenkungssensoren erfassten Auslenkungen eine Auslenkung in der Mitte der Membran und daraus einen Wert für die auf der Membran lastende Druckdifferenz errechnet.
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