发明名称 Anordnung und Verfahren zur kapazitiven Druckmessung
摘要 Es wird ein Drucksensor beschrieben, der einerseits einfach zu kalibrieren ist und andererseits eine hohe Messgenauigkeit aufweist. Der Drucksensor umfasst eine elastisch deformierbare, an ihrem Rand fixierte und aufgrund einer Druckdifferenz auslenkbare Membran, sowie zumindest zwei Auslenkungssensoren, wobei die Auslenkungssensoren die Auslenkung von jeweils unterschiedlich zur Mitte der Membran beabstandeten Flächenbereichen der Membran erfassen. Der Drucksensor umfasst eine Recheneinrichtung, welche aus den von den Auslenkungssensoren erfassten Auslenkungen eine Auslenkung in der Mitte der Membran und daraus einen Wert für die auf der Membran lastende Druckdifferenz errechnet.
申请公布号 DE102009035973(A1) 申请公布日期 2011.04.14
申请号 DE20091035973 申请日期 2009.08.04
申请人 BAUMER INNOTEC AG 发明人 IHLEFELD, JOACHIM;ZUELLIG, DANIEL;TARRAF, AMER
分类号 G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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