发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON AND PROCESS FOR ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 KR101028443(B1) 申请公布日期 2011.04.14
申请号 KR20090018444 申请日期 2009.03.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/18;C01B33/00;C07F7/12;H01L21/208 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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