MEASURING DEVICE AND MEASURING METHOD FOR THE SPECTRALLY SELECTIVE DETERMINATION OF THE RADIATION EXPOSURE IN THE VUV RANGE

摘要

Bekannte Messeinrichtungen zur spektral selektiven Bestimmung der Strahlungsexposition für VUV-Strahlung, umfassen einen Träger aus einem Trägermaterial und einer flächig ausgebildeten Sensorschicht, die eine photosensitive chemische Verbindung enthält, die in Abhängigkeit von auftreffender UV-Strahlung eine Farbänderung erfährt. Um hiervon ausgehend eine konstruktive einfache und preiswerte Messeinrichtung für die spektral selektive Bestimmung der Strahlungsexposition im VUV-Bereich bereitzustellen, insbesondere für den Einsatz bei einer Wellenlänge von 185 nm wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die photosensitive chemische Verbindung ein Polysaccharid ist.