Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors

摘要

Es wird ein Drehratensensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisendem Substrat und einem relativ zum Substrat beweglichen Coriolis-Element vorgeschlagen, wobei der Drehratensensor Anregungsmittel zur Anregung einer Antriebsschwingung des Coriolis-Elements entlang einer zur Haupterstreckungsebene parallelen ersten Richtung aufweist und wobei der Drehratensensor Detektionsmittel zur Detektion einer Coriolis-Auslenkung des Coriolis-Elements entlang einer zur Haupterstreckungsebene senkrechten dritten Richtung aufweist und wobei ferner der Drehratensensor eine Quadraturkompensationsstruktur aufweist, welche sowohl eine Kammelektrodenstruktur, als auch eine Plattenkondensatorstruktur umfasst.