LASER SYSTEM FOR A MICROSCOPE AND METHOD FOR OPERATING A LASER SYSTEM FOR A MICROSCOPE

摘要

Ein Lasersystem (20) für ein Mikroskop hat ein Lasermodul (22), eine Strahlkorrekturvorrichtung (26), einen Lichtleiter (31), ein Messelement (34) und eine äußere Regeleinrichtung (37). Das Lasermodul (22) erzeugt einen Lichtstrahl (24). Der Lichtstrahl (24) durchdringt die Strahlkorrekturvorrichtung (26), die eine Abweichung eines Ist-Werts mindestens eines Parameters des Lichtstrahls (24) von einem Soll-Wert des Parameters korrigiert. Der korrigierte Lichtstrahl (24) wird in den Lichtleiter (31) eingekoppelt. Das Messelement (34) ist dem Lichtleiter (31) nachgeschaltet und erfasst einen Ist-Wert (36) der Intensität zumindest eines Teilstrahls (32) des korrigierten Lichtstrahls (24). Die äußere Regeleinrichtung (37), die mit einer Energieversorgung (39) des Lasermoduls (22) und mit dem Messelement (34) gekoppelt ist, regelt mittels der Energieversorgung (39) den Ist-Wert (36) der Intensität auf einen vorgegebenen Soll-Wert der Intensität.