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发明名称 METHOD FOR DETERMINING AN OVERALL LEAKAGE RATE OF A VACUUM SYSTEM AND VACUUM SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20110038736(A) 申请公布日期 2011.04.14
申请号 KR20117005470 申请日期 2009.08.05
申请人 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH 发明人 PALTEN THOMAS;WALTER GERHARD WILHELM;EHRENSPERGER DAMIAN
分类号 G01M3/22;G01M3/20 主分类号 G01M3/22
代理机构 代理人
主权项
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