VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON FLÄCHIGEN GRÖSSEN- ODER ABSTANDSVARIATIONEN IN MUSTERN VON NANOSTRUKTUREN AUF OBERFLÄCHEN,申请号DE200850002734T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON FLÄCHIGEN GRÖSSEN- ODER ABSTANDSVARIATIONEN IN MUSTERN VON NANOSTRUKTUREN AUF OBERFLÄCHEN
摘要
申请公布号	DE502008002734(D1)	申请公布日期	2011.04.14
申请号	DE200850002734T	申请日期	2008.03.12
申请人	MAX-PLANK-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG FER WISSENSCHAFTEN E.V.	发明人	SPATZ, JOACHIM;LOHMUELLER, THEOBALD;ARNOLD, MARCO
分类号	C23C18/08;C23C18/12;C23C18/14;G02B1/12;G02B3/00	主分类号	C23C18/08
代理机构		代理人
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