| 发明名称 | 水反应性Al复合材料、水反应性Al膜、该Al膜的制造方法、及成膜室用构成部件 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种水反应性Al复合材料，其在选自杂质Cu量为40ppm以下的2NAl～5NAl中的Al中，以Al基准计，添加选自2～5wt％的In及0.7～1.4wt％的Bi的至少一种的金属而成。使用该材料制造的水反应性Al膜及该Al膜的制造。在表面具备有该水反应性Al膜的成膜室用构成部件。 | ||
| 申请公布号 | CN102016102A | 申请公布日期 | 2011.04.13 |
| 申请号 | CN200980115456.X | 申请日期 | 2009.04.27 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 门胁丰;斋藤朋子;林敬荣;虫明克彦 |
| 分类号 | C23C4/06(2006.01)I;B01J19/00(2006.01)I;C22C21/00(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I | 主分类号 | C23C4/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 贾成功 |
| 主权项 | 一种水反应性Al复合材料，其特征在于，在选自杂质Cu量为40ppm以下的2NAl～5NAl中的Al中，以Al基准计，添加选自2～5wt％的In及0.7～1.4wt％的Bi的至少一种的金属而成。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||