用于湿法清洁等离子处理装置的电极组件的方法和装置

摘要

提供用于对电极组件的背板或包括背板和电极板的电极组件进行清洁的方法。该方法可以被用于清洁各种材料制成的背板和电极组件，例如硅电极板以及石墨和铝背板。该背板和电极组件可以是新的、使用过的或翻新的。还提供在这些方法中使用的冲洗夹具。

主权项

一种用以清洁等离子处理装置的电极组件的背板的方法，该方法包含：使用溶剂接触该背板，并擦拭该背板的外表面以去除外表面的微粒；使用水喷淋该背板，以去除该背板的外表面的微粒和该背板的气体通道中包含的微粒；超声清洁该背板；将该背板容纳在冲洗夹具中，该冲洗夹具包含具有多个液体通道的底板和被配置为覆盖该底板的盖板，该盖板包括至少一个液体通道；及通过在高压下引入冲洗液而在该冲洗夹具中冲洗该背板，该冲洗液通过该盖板中的所述至少一个液体通道，通过该背板中的该气体通道，并通过该底板中的该多个液体通道以除去该背板的该气体通道中包含的微粒。