发明名称
摘要
申请公布号 JP4671194(B2) 申请公布日期 2011.04.13
申请号 JP20060253569 申请日期 2006.09.19
申请人 发明人
分类号 H01L27/105;C01G49/00;H01L21/8246 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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