石英晶圆深微孔加工设备及方法

摘要

本发明公开了一种石英晶圆深微孔加工设备，该设备包括空气压缩机、喷砂枪和载玻台，所述压缩机连接着喷砂枪，压缩机向喷砂枪输送高压缩空气，致使喷砂枪内的磨料高速喷击到置于载玻台的石英晶圆上，利用高速运动的磨料撞击石英材料实现在石英晶圆上的深微孔加工。本发明同时公开了一种对石英晶圆进行深微孔加工的方法。利用本发明，解决了激光不能在透明材料打孔的弊端，以及离子打孔电荷问题不能加工深微孔等一系列问题，实现了在石英上的深微孔制作，设备简单，易于实现，而且成本低廉，刻蚀速度快，可以批量生产。

主权项

一种石英晶圆深微孔加工设备，其特征在于，该设备包括空气压缩机(1)、喷砂枪(2)和载玻台(5)，所述压缩机(1)连接着喷砂枪(2)，压缩机(1)向喷砂枪(2)输送高压缩空气，致使喷砂枪(2)内的磨料高速喷击到置于载玻台(5)的石英晶圆上，利用高速运动的磨料撞击石英材料实现在石英晶圆上的深微孔加工；其中，所述载玻台(5)在磨料喷击石英晶圆时垂直于喷砂枪(2)放置，且匀速旋转。