表面波传感器器件

摘要

本发明提供不容易产生因附着液体而引起的不希望的短路及测定精度降低、能给出可靠性高的测定结果的表面波传感器器件。表面波传感器器件1在具有第1通孔导体5a、5b、6a、6b的基础基板2的第1主面2a一侧，通过热压接性各向异性导电片7及8，粘接弹性表面波元件11及21，而且在弹性表面波元件11及21的压电基板12及22的第1主面12a及22a一侧，形成IDT13及14等电极，而且该电极通过设置在压电基板12及22中的第2通孔导体16a、16b、26a、26b，向第2主面12b及22b一侧引出，并将第1通孔导体5a、5b、5e、5f配置成通过热压接性各向异性导电片7及8与第2通孔导体16a、16b、26a、26b重合。

主权项

一种表面波传感器器件，其特征在于，具有：有互相相对的第1及第2主面的基础基板；设置成从所述基础基板的第1主面到第2主面贯通的第1通孔导体；设置成在所述基础基板的第2主面上、与所述第1通孔导体电连接的端子电极；配置成在所述基础基板的第1主面上、与所述通孔导体的端部电连接的热压接性各向异性导电片；以及利用所述热压接性各向异性导电片与所述基础基板粘接的弹性表面波元件，所述弹性表面波元件具有：有互相相对的第1及第2主面的压电基板；在压电基板的第1主面上形成的至少1个IDT；设置成覆盖该IDT的绝缘性保护膜；以及与所述IDT电连接、而且设置成从所述压电基板的第1主面到达第2主面的第2通孔导体，将所述第1与第2通孔导体通过热压接性各向异性导电片配置成重合，使得第2通孔导体利用所述热压接性各向异性导电片与所述基础基板的第1通孔导体电连接。