包括具有超晶格沟道的浮栅存储单元的半导体器件及相关方法

摘要

半导体器件，可以包括半导体衬底(21)和至少一个非易失性存储单元。所述至少一个存储单元可以包括以定距离间隔的源极和漏极区(26，27)，以及超晶格沟道(25)，该超晶格沟道(25)包括源极和漏极区之间的半导体衬底上的多个堆叠层组。超晶格沟道的每个层组可以包括限定基底半导体部分及其上的能带改性层的多个堆叠基底半导体单层，所述能带改性层可以包括限制在相邻基底半导体衬底部分的晶格内的至少一个非半导体单层。浮置栅极(37)可以与超晶格沟道相邻，控制栅极(39)可以与第二栅极(38)绝缘层相邻。

主权项

一种半导体器件，其包括半导体衬底以及至少一个非易失性存储单元，该至少一个非易失性存储单元包括：间隔开的源极区和漏极区，超晶格沟道，该超晶格沟道包括在所述源极区和漏极区之间的所述半导体衬底上的多个堆叠的层组，所述超晶格沟道的每个层组包括多个堆叠的基底半导体单层，该多个堆叠的基底半导体单层限定基底半导体部分及其上的能带改性层，所述能带改性层包括限制在相邻基底半导体部分的晶格内的至少一个非半导体单层，与所述超晶格沟道相邻的浮置栅极，与所述浮置栅极电极相邻的控制栅极，以及在所述浮置栅极与所述控制栅极之间的超晶格绝缘层。